MICI-80-180-200-Datasheet
MICI壓電千分尺調節(jié)器
MICI系列元件非常適合提高線性載物臺的定位精度。它們是壓電致動器,與千分尺螺釘結合安裝在線性平臺上。預調整由測量螺釘完成,最終的微調由MICI元件完成。通常,壓電驅動系統(tǒng)產生高達200N的力。分辨率降至亞納米范圍。
MICI系統(tǒng)的主要優(yōu)點是它可以很容易地安裝到現有系統(tǒng)中。您的系統(tǒng)可以升級以實現亞納米分辨率。MICI 80和MICI 200元件與Mitutoyo的152-401、152-402和197-101型千分尺驅動器兼容,MICI 180元件與SM13型“NEWPORT”千分尺驅動器相容。
在設計和諧振頻率方面,新系統(tǒng)具有突出的特點:MICI系列的壓電驅動系統(tǒng)采用小型緊湊的設計開發(fā),在開環(huán)中提供從80μm(MICI 80)、180μm(MIC 180)到250μm(MICI 200)的運動范圍。基于其復雜的柔性鉸鏈設計,MICI 80的共振頻率高達990Hz。
此外,MICI 80專為移動高負載質量而設計。高達20kg的負載可以精確調整。定位傳感器保證了極高的定位穩(wěn)定性和再現性。壓電致動器在低溫環(huán)境下也能工作,其延伸行為逐漸減少。
產品特性:
l運動高達250μm
l線性定位器的高精度調整
l無機械運動
l重載的精確調整
lMICI 180與“Newport”SM13系列千分尺驅動器兼容
lMICI 80和200與“三豐”的千分尺驅動器152-401、152-402和197-101兼容
產品應用:
l質量控制
l自動化
l光學元件的精細調整
l微型裝配
壓電千分尺調節(jié)器 | 產品型號 | 行程 x | 分辨率 | 諧振頻率 | 產品簡介 | |
MICI 200 |
| S-703-00 | 250 | 0.56 | 332 | 壓電千分尺調節(jié)器MICI 200,提 |
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